光學(xué)視頻接觸角測量儀在半導(dǎo)體晶圓玻璃面板的應(yīng)用

水滴角測量儀/接觸角測量儀的算法必須能夠?qū)崿F(xiàn)修正重力影響條件下準(zhǔn)確分辨左、右角度值的能力。水滴角測量儀或接觸角測量儀自20世紀(jì)70年代開始生產(chǎn)，且實現(xiàn)了很好的銷售業(yè)績。

利用水表面張力靈敏度非常高的特性，通過左、右角度偏差值以及水接觸角的變化范圍，定義材料表面的清潔度，分析等離子清洗（Plasma）效果。

 
 
特別指出的是，如上所述，重力會影響水滴角的測量。通常而言，量角器法的水滴角測量儀或接觸角測量儀是通過控制進液的精度想達到實現(xiàn)或提升重復(fù)性的目標(biāo)，控制的液滴量通常為2uL左右。但是，即使是2uL，此時仍然存在重力影響，測值結(jié)果仍然與真正的Young-Laplace方程擬合算法得出的數(shù)據(jù)不一致的。且，通過而言，除非采用噴射針頭，其他的針頭進液方法均需要通過移液，即將水滴接觸到固體樣品后，利用固體的表面張力將水滴吸下去。正是由于固體表面張力不同，很難確保終滴下的液滴量是*一致的。需要注意的是，沒有一致的兩個液滴的，也不能說0.1uL誤差就會導(dǎo)致不受重力影響了。
 
更值得注意的是，測試水滴角值時，我們需要利用左、右角度變化以及測值精度的偏差來判斷清潔度，兩個數(shù)據(jù)是綜合起來運用的。因而，通過滴多個液滴并評估水滴角多個值的變化事實上已經(jīng)是非常效率低下，準(zhǔn)確度不高的技術(shù)了。